TOTO投170亿日元新建研发大楼 强化静电卡盘等半导体陶瓷业务

TOTO于4月30日宣布，将在神奈川县茅崎市的茅崎工厂厂区内新建一座研发大楼，以加速陶瓷业务的研究与开发。该投资是公司“加速陶瓷业务成长投资”计划的一部分——到2028年度为止实施约300亿日元设备投资，本次新楼投资约170亿日元。

新研发楼为四层钢结构，建筑面积2,800平方米，总建筑面积10,600平方米，计划于2026年12月开工、2028年4月竣工。新楼旨在强化两项核心产品的研发体系：一是静电卡盘（Electrostatic Chuck），利用静电力将硅晶圆固定在制造设备的晶圆台上；二是AD部件，通过气溶胶沉积（Aerosol Deposition，AD）法在金属等基材表面形成致密陶瓷膜，用于半导体制造设备内部，以延长部件寿命、抑制颗粒产生。

随着半导体性能不断提升，作为半导体制造设备关键部件的静电卡盘和AD部件也被要求具备更高性能。TOTO表示，将利用新研发楼加速开发比现有产品更先进的下一代产品，同时通过扩充试制产线来提升开发速度。

陶瓷业务已是TOTO的高收益支柱。2026年3月期，该业务营收仅占全公司总营收的约9%，但营业利润却占全公司约51%。全公司当期营业利润率为7%，而陶瓷业务单独来看高达43%。这得益于TOTO在卫生陶瓷开发中积累的高精度陶瓷加工技术，以及人工智能和半导体需求扩大带来的静电卡盘等产品出货量激增。

在研发与制造布局上，陶瓷业务的研发集中在茅崎工厂，制造则交由大分县中津市的子公司TOTOファインセラミックス（TOTO Fine Ceramics）总部/中津工厂，以及福冈县丰前市的丰前工厂。为应对增产，丰前的陶瓷烧成楼预定于2027年1月竣工。TOTO计划到2028年度前，对茅崎、中津、丰前三个基地合计投入约300亿日元设备投资，并已着手构思未来进一步增产的投资计划。

TOTO表示，拥有100多年历史的卫生陶瓷祖业所积累的制造技术，为陶瓷业务的前沿研发提供了坚实基础。今后将继续通过以水环境为中心的住宅设备业务与支撑半导体产业的陶瓷业务之间的协同效应，追求舒适的未来社会与经济成长。