Central Glass无水氢氟酸供应计划获认证 最高补贴约176亿日元
半导体新闻要点
- Central Glass（中央硝子）的无水氢氟酸供应保障计划获经济产业省（METI）认证，最高可获约176亿日元补贴。
- 将在山口县宇部市的宇部工厂新建无水氢氟酸制造设备。
- 降低对中国依赖度较高的萤石（fluorspar）和无水氢氟酸供应风险，强化半导体材料供应链。
Central Glass于9月16日宣布，根据经济安全保障推进法（Economic Security Promotion Act），为确保重要矿物稳定供应而制定的“无水氢氟酸（anhydrous hydrofluoric acid，AHF）供应保障计划”已于同日获得经济产业省（METI）认证。
该计划将在山口县宇部市的宇部工厂新建无水氢氟酸制造设备，最多可获得约176亿日元补贴。基于此次认证，该公司今后将就设备规模、投资额、投产时间等设备投资事项的具体化推进详细探讨。
半导体用氟材料的原料——无水氢氟酸
无水氢氟酸是各类氟化合物的起始原料，被广泛应用于半导体、能源、信息通信、运输、医疗等众多产业。
在半导体制造中，氟系药液和气体用于薄膜形成、蚀刻以及制造设备内部清洗等环节。Central Glass也以无水氢氟酸为原料，开展用于金属布线形成的六氟化钨（tungsten hexafluoride）、半导体制造设备用清洗气体、光刻胶（photoresist）用氟化材料等业务。
随着半导体微细化和结构复杂化，材料需要具备高纯度和稳定的品质。通过提升位于上游的无水氢氟酸日本国内生产能力，将有助于该公司含半导体材料在内的氟系产品实现稳定供应。
强化对中国依赖度较高的供应链
无水氢氟酸以主要成分为氟化钙的萤石（fluorspar）为原料制造。日本的无水氢氟酸和萤石供应严重依赖从中国进口，地缘政治紧张、出口管制、物流混乱导致的供应中断成为课题。实际上，中国曾对萤石实施出口管制，日本也曾受到其影响。
半导体材料大多需要客户围绕纯度、杂质、品质、容器、运输方式等进行认证。因此，一旦供应出现问题，很难在短期内切换到其他材料或供应来源。
鉴于这种重要性和供应风险，经济产业省将氟定位为经济安全保障推进法中的重要矿物之一，支持国内生产和供应来源多元化。
将在宇部工厂新建制造设备
在获认证的计划中，Central Glass计划在宇部工厂新建无水氢氟酸制造设备。该工厂是利用该公司氟化学技术生产各类化学品的基地，计划在利用现有技术、人才和质量管理体制的同时，建设新设备。
最高补贴额约为176亿日元，实际拨付金额将根据今后具体化的设备投资内容等确定。该公司旨在建立不仅平时能稳定供应，在进口停滞或供应中断时也能确保必要数量的体制。
即便日本国内半导体工厂建设推进，如果无法确保制造所需的药液、气体以及作为其原料的基础化学品，也难以维持稳定生产。此次计划可谓是一项从萤石到无水氢氟酸，再到半导体用氟系材料，强化供应链日本国内基础的举措。
