古屋金属新千岁工厂竣工 半导体热电偶与石英保护管产能增至2倍
要点
- 古屋金属为投资约45亿日元的新千岁工厂举行竣工仪式。
- 面向半导体制造装置的热电偶和高纯度石英保护管产能将提升约2倍。
- 与筑波工厂建立相互补充体制，计划2027年春季正式投产。
古屋金属（Furuya Metal）9月15日宣布，已于9月14日在北海道千岁市为新建的“新千岁工厂”举行竣工仪式。设备投资额约45亿日元，用于将半导体制造装置所使用的贵金属热电偶（温度传感器）以及保护它的高纯度石英保护管等产品的生产能力提升至原来的约2倍。新工厂计划2026年秋季投产，并于2027年春季正式启动运营。
该公司2010年进入北海道，一直将千岁工厂作为石英加工专业基地运营。进入北海道15年后，公司对工厂进行搬迁和扩建，以应对AI和数据中心扩张带来的先进半导体市场增长。
增产面向半导体制造装置的热电偶与石英保护管
在半导体制造工序中，晶圆的氧化、热扩散等处理会使用扩散炉。炉内有时会超过1000℃高温，要在晶圆面内进行均匀处理，需要高精度测量和控制温度。
古屋金属生产的贵金属热电偶是一种温度传感器，利用不同金属线接合部产生温差时生成的电压来测温，已用于需要在高温下稳定测量的半导体制造装置等领域。高纯度石英保护管则用于保护热电偶免受高温和炉内气氛影响。由于用于半导体制造工序，该产品不仅需要耐热性，还需要不会污染制造环境的高纯度和加工精度。
新千岁工厂的建设目的，是扩展并集中这些热电偶和石英保护管的生产功能，以满足先进半导体制造装置日益扩大的需求。
构建从线材到成品的一贯生产体制
新工厂占地面积15061.16平方米，总建筑面积6413.45平方米。工厂配备洁净室（Clean Room），以应对半导体领域要求的洁净度和质量要求。
筑波工厂采用自主的“R-SP制法”，生产高强度、长寿命的贵金属热电偶线材。新千岁工厂则由熟练技术人员使用火焰加工等方式加工高纯度石英保护管，并与热电偶线材组合，完成最终产品。
通过由集团内部一贯完成从线材制造、石英加工到产品化的流程，公司将在强化质量管理的同时，实现根据客户装置规格和使用条件供应产品。
此外，除扩大产能外，新工厂还承担强化事业连续性计划（Business Continuity Plan，BCP）的角色。据该公司介绍，筑波工厂与新千岁工厂将共享生产功能，建立可相互补充的体制。即使自然灾害或设备故障等导致其中一个基地无法运行，也力争利用另一个基地继续供应。同时，两座工厂之间还将推进人员交流，以共享并提升生产技术和加工技能。
新千岁工厂还计划与日本国内半导体制造装置厂商共同开发可提高半导体制造装置热效率的部件，以及降低功耗的热管理设备。公司希望以此支持客户企业节能，并推动半导体制造工序脱碳。
