AI需求推高光刻机市场 ASML尼康佳能齐增产

人工智能（AI）带来的需求仍在持续推高半导体光刻机市场。荷兰ASML正大幅增产其垄断供应的EUV（极紫外）光刻机；尼康则凭借与ASML兼容的ArFi（氟化氩浸没式）光刻机开发，有望实现营业利润的V型复苏；在封装后段工序具备优势的佳能，目标是将KrF（氟化氪）光刻机销量翻倍。

ASML：EUV大幅增产并酝酿涨价

ASML的2026年第二季度（4-6月）业绩报告显示，公司正大幅扩大光刻机产能。由于逻辑芯片和存储芯片大厂均急于增产尖端产品，对支持微细工艺的EUV和ArFi光刻机的需求持续升温，ASML已在考虑涨价。

该季度ASML销售额为93亿欧元（上一季度为88亿欧元），净利润为29亿欧元（上一季度为28亿欧元）。剔除服务等项目后的系统销售额为66亿欧元，其中垄断供应的EUV光刻机贡献38亿欧元，并包含1台高NA光刻机。

当季新光刻机销量为86台（上一季度67台），二手设备5台。逻辑和存储用途的销售占比几乎各占一半，但ASML预计今年（12月期）面向逻辑代工厂的销售额将增长25%以上。存储方面，DDR和HBM供应紧张，叠加工艺持续微细化，正出现从深紫外（DUV）向成本效率更高的低NA（数值孔径0.33）EUV切换的趋势。因此，ASML预计今年存储用途销售额将大幅增长75%以上。

低NA机型今年出货量预计约65台，EUV销售额预计同比增长超过45%。为满足旺盛需求，ASML将在2027年将低NA机产能提高约30%，并可能在2028年再增产30%。

高NA（数值孔径0.55）机型方面，ASML表示，美国英特尔代工厂已引入其光源输出功率和套刻精度均有所提升的TWINSCAN EXE:5200B，并已采用“18A工艺”开始生产先进芯片。

DUV需求同样强劲，ArFi机型今年计划出货约130台，非EUV机净销售额预计因此增长约25%。ArFi机产能计划在2027年增加30%，2028年也考虑再增加30%。

按光源划分的4-6月期销售结构占比（括号内为1-3月期）为：EUV 57%（66%）、ArFi 29%（23%）、ArF 4%（2%）、KrF 6%（6%）、计量检测3%（2%）。销量方面：EUV 16台（16台）、ArFi 23台（17台）、ArF 8台（5台）、KrF 35台（30台）、i线9台（11台）。逻辑用途占51%，存储用途占49%。

从地区销售额看，韩国占43%（45%）、台湾30%（23%）、中国14%（19%）、美国9%（12%）；日本占4%，而上一季度日本销售额甚微，未在饼图中单独显示。

尼康：营业利润扭亏，新款ArF干式产品实现销售

尼康2027年3月期第一季度（4-6月）财报显示，受日元贬值影响，公司整体销售额同比增加60亿日元。但由于相机等销售减少，加上精机事业计提存货减值损失（41亿日元），尽管有美国关税退还（40亿日元），营业利润仍为9亿日元赤字。

包含半导体光刻机业务的精机事业，4-6月期销售额同比增加44亿日元至382亿日元，但受存货减值影响，营业利润从上年同期的18亿日元黑字转为26亿日元赤字。平板显示器（FPD）曝光设备因部分安装推迟至7-9月，销量同比减少2台至5台，但高单价ArF干式光刻机销量增加，精机事业整体仍实现增收。ArF干式新产品“NSR-S333F”也已确认了首台设备销售收入。

半导体光刻机当季销量为5台（上年同期2台），按光源划分：ArF干式2台（0台）、KrF 1台（0台）、波长365nm的i线2台（2台）。

2027年3月期全年预测（括号内为上年度实际）为：含二手设备共29台（27台），其中ArF浸没式3台（0台）、ArF 7台（3台）、KrF 2台（4台）、i线17台（20台）。预计全财年销售额同比增长12.4%至1880亿日元，营业利润将由45亿日元赤字改善为120亿日元黑字。本财年全公司研发预算735亿日元中的28%将投入精机事业，推进ArFi和无掩模光刻机开发。

从地区销售额看，4-6月期日本市场从去年的34.58亿日元增至66.46亿日元，增幅超过90%；中国仍以172亿日元居首，欧洲58亿日元，美国42.8亿日元。

佳能：KrF销量预计翻倍，NIL光刻机追加出货

佳能2026年第二季度（4-6月）财报说明资料显示，半导体光刻机业务1-6月期因存储和先进封装需求旺盛而实现增收增益。7-12月期，佳能预计KrF光刻机销量将翻倍。

光刻机所属的光学仪器部门4-6月期销售额同比增长1.0%至619亿日元。全年（12月期）销售额预测自上次预测上调21亿日元，增长2.3%至2622亿日元。由于包含FPD曝光机在内的工业事业整体预计将出现同比减收减益，半导体光刻机的坚挺表现显得尤其突出。公司重点推进的纳米压印（NIL）光刻机已接近量产应用，6月已向正在评估的客户追加出货。

按光源划分的销量方面，4-6月期KrF为17台（上年14台），全年预测为70台（46台）；i线为31台（37台），全年预测157台（188台）。此前截至1-3月期结束时，公司曾预测全年KrF为69台、i线为169台，此次下调i线预测反映了功率半导体和模拟半导体的需求放缓。

面对旺盛的存储需求，佳能计划在7-12月期将KrF光刻机销量同比翻倍。同时，用于HBM的成膜设备订单也在增加。FPD曝光机4-6月期销量为6台（9台），全年预测20台（33台），大幅下滑，与半导体光刻机业务形成明显反差。