TOTO投资600亿日元新建半导体陶瓷部件工厂

TOTO于10月30日宣布，将在福冈县丰前市的“TOTO Fine Ceramics 丰前工厂”内新建生产设施，用于量产面向半导体制造设备的陶瓷产品下一代产品。投资额约600亿日元，建筑面积约1.2万平方米，总建筑面积约3.6万平方米，为地上三层钢结构建筑，将成为该公司陶瓷业务中规模最大的生产厂房。新设施将生产陶瓷业务主力产品静电吸盘（Electrostatic Chuck，ESC）和AD部件的下一代产品，计划于2029财年上半年（2029年度上期）投产。

面向AI半导体的静电吸盘将扩产

静电吸盘用于在半导体制造设备内固定硅晶圆，主要用于刻蚀工艺。以3D NAND为代表的内存随着存储单元堆叠层数增加，为形成更深的结构，等离子体输出功率不断提高。因此，设备内部长时间暴露于等离子体的静电吸盘需要具备比以往更高的耐久性和品质。TOTO通过采用耐等离子体性优异的高品质材料，形成高纯度、致密的陶瓷烧成体，抑制等离子体造成的腐蚀。新设施将建立下一代静电吸盘的量产体系，使其具备先进半导体制造设备所需的耐久性和功能。

无需烧成的陶瓷膜可抑制颗粒

AD部件是采用AD（Aerosol Deposition，气溶胶沉积）法形成陶瓷膜的半导体制造设备用部件。AD法将陶瓷微粒混入气体，使其以接近音速的速度撞击基材，从而在常温环境下形成致密陶瓷膜。由于不需要烧成工序，不易形成普通烧结陶瓷中产生的微细孔，可抑制等离子体侵蚀。通过在刻蚀设备内部部件上形成AD膜，可抑制等离子体导致的部件劣化和颗粒（particle）产生，减少颗粒附着到硅晶圆上造成的不良。TOTO称，其已全球首次将采用AD法的产品面向半导体制造设备实现实用化和量产。下一代产品将应对逻辑半导体微细化带来的日益严格的颗粒抑制要求。