美国拟扩大对华芯片设备限制,ASML在华DUV光刻业务承压

美国正酝酿将芯片设备出口限制延伸至ASML(阿斯麦)在华剩余的深紫外(DUV)光刻业务。据荷兰媒体NU.nl报道,美国准备向荷兰施压,要求其对ASML向中国出售芯片制造设备实施近乎全面的禁令。根据拟议的《多边硬件技术管制对齐法案》(MATCH Act),美国盟友可能被要求将其敏感技术的出口管制与美国保持一致,这意味着限制范围可能扩大至仍向中国出售的老一代ASML设备,以及对已交付机器的维护服务。若荷兰不配合,可能面临美国制裁。

报道称,荷兰官员正在华盛顿大力游说,试图阻止该法案,但成功机会似乎有限。该法案获得两党支持,并有望被纳入美国国防预算,而该预算很少遭否决。

MATCH法案的两党推动可追溯至今年早些时候。路透社指出,该法案于4月2日在美国众议院提出,旨在填补对华芯片制造设备销售限制的空白,并让美国管制与日本、荷兰等盟友保持一致。

尽管系统销售份额下降,中国仍是ASML的重要市场。根据ASML最新财报,按发货地点统计,2026年第二季度中国占其净系统销售额的14%,低于第一季度的19%。由于极紫外(EUV)对华出口已受限,ASML对华剩余系统销售主要集中在旧一代DUV设备。

中国加速国产DUV,但ASML差距犹存

在ASML可能面临更严格限制之际,中国正加快自主研发光刻设备。路透社7月底报道,国有背景的上海爱晟纳电子科技集团(Shanghai Aishengna Electronic Technology Group)在整合了本地光刻企业Yuliangsheng和上海微电子装备(SMEE)的团队后,主导国产浸没式DUV光刻机的生产。最早报道该生产计划的The Information指出,其目标是在2026年生产约5套DUV系统,2027年约20套。首批系统预计今年交付给中芯国际(SMIC)、华虹半导体(Hua Hong Semiconductor)和长鑫存储(CXMT)等中国主要芯片制造商。

尽管取得进展,中国国产DUV产量相对于本地需求仍然有限。香港中通社指出,中国仅在2025年就进口了95套DUV系统,远超其新兴国产生产计划最初规划的产量。