萨姆科半导体设备销量破5000台 第5000台交付东北大学

萨姆科（SAMCO）宣布，自公司成立以来，包括等离子体CVD装置、干法刻蚀装置、干法清洗装置在内的半导体制造设备累计销量已达到5000台。作为具有纪念意义的第5000台设备，一台平行平板型反应离子刻蚀（RIE）装置“RIE-200NL”已交付东北大学。

该装置是面向最大8英寸晶圆的多用途研发设备，可对Si、poly-Si（多晶硅）等各种硅薄膜以及GaN（氮化镓）、GaAs（砷化镓）等化合物半导体进行高精度刻蚀。

设备将安装于东北大学西泽润一纪念研究中心内由微系统融合研究开发中心（μSIC）运营的共享设施“试作Coin Laundry（投币式自助试制工房）”中，作为外部用户也可利用的设备，用于CMOS电路、MEMS传感器、光电融合领域器件的研究开发以及实践性人才培养。

在设备交付之际，萨姆科向东北大学赠送了纪念累计销量达5000台的大型数字时钟。纪念照片中，从左至右依次为：东北大学微系统融合研究开发中心副教授森山雅昭、中心主任户津健太郎教授、萨姆科社长川边史。

中心主任户津教授表示：“半导体领域不仅研究开发需求旺盛，人才需求也在不断提高。此外，设施中会接收从小片芯片到8英寸晶圆的各种尺寸样品，RIE-200NL能够灵活应对这些样品，期待它成为一台满足广大用户需求的易用设备。”

据介绍，东北大学的“试作Coin Laundry”是日本国内最大级别的半导体·MEMS共用设施，在1800平方米的洁净室内配备了150台以上半导体相关设备，用户可按时间单位使用设备。该设施的特点是在技术人员的支持下，用户可利用东北大学的工艺技术与试制经验。自2010年投入使用以来，已有大学、研究机构、企业、初创公司等超过400家机构利用该设施。