Wooptix拟向韩国半导体商供应Phemet晶圆量测系统

西班牙半导体量测设备制造商 Wooptix 计划向一家韩国半导体制造商供应其 Phemet 晶圆量测系统。公司将于明年在客户现场启动设备部署，以评估其客户工艺的适用性，并目标在两到三年内进入量产线。三星风投（Samsung Ventures）去年领投了对该公司的投资。

Wooptix 技术营销经理 Marco Franchi 表示：“我们明年将开始在客户现场部署设备，以验证其客户工艺的适用性。我们的目标是在两到三年内进入量产线。”他未透露客户身份。

Franchi 称：“韩国是重要市场，三星电子和 SK 海力士均位于那里。我们计划先在韩国争取逻辑半导体客户，然后再拓展至存储领域。”

Phemet 是一套自动化量测系统，可测量 300 毫米晶圆的形状，包括弯曲和翘曲。该系统能在不到一秒内捕获整片晶圆的图像，并提供亚纳米级高度测量分辨率。它使用发光二极管（LED）照射晶圆，并根据反射光的相位差计算晶圆表面轮廓。Wooptix 将这项技术称为波前相位成像（Wavefront Phase Imaging，WFPI），其应用了天文望远镜中用于校正大气畸变的自适应光学技术。该公司于 2025 年 11 月发布 Phemet，并于 5 月在法国半导体研究机构 CEA-Leti 安装了首套系统。

由于工艺复杂度不断上升，Wooptix 首先瞄准逻辑半导体制造商。随着全环绕栅极（GAA）晶体管和背面供电网络（BSPDN）工艺的采用，晶圆对准和形状控制变得更具挑战性。公司随后计划拓展至包括混合键合在内的先进封装应用，以及存储半导体。

Franchi 表示：“量测可以判断晶圆在键合过程中是否发生对准偏差，以及键合工艺是否已正确完成。从更长期看，我们也在考虑为裸片到晶圆（D2W）和裸片到裸片（D2D）工艺小型化设备。”

Wooptix 成立于 2016 年，于 2025 年 2 月完成超过 1000 万欧元的 C 轮融资，该轮由三星风投和西班牙技术转型协会（Spanish Society for Technological Transformation，SETT）共同领投。Intel Capital 和 Tokyo Electron（TEL）Venture Capital 等现有投资者也参与其中。

Wooptix 总部位于西班牙特内里费，并在当地运营制造设施，同时在马德里和法国格勒诺布尔设有办公室。公司约 80 名员工中，有 60% 至 70% 从事研发工作。公司计划在今年年底或明年年初将员工规模扩大至约 100 人。