Unijet将于2027年推出SAM喷墨量产设备 目标每小时4000片晶圆

Unijet计划于2027年2月推出用于太阳能电池制造中自组装单分子层(self-assembled monolayers,SAMs)涂覆的喷墨量产设备。该公司希望把此前已在研发设备和验证设备上验证过的超薄涂覆技术推进至量产阶段。

Unijet表示,公司创始人兼总裁Kim Seok-soon在2026年10月21日至23日于德国举行的Perovskite Connect 2026上,介绍了公司的SAM墨水、喷墨涂覆技术以及量产设备开发进展。

SAM是用于控制太阳能电池内部不同层之间界面特性的超薄膜。Unijet开发了可将这类薄膜形成至2至3纳米(nm)厚度的喷墨工艺,并基于钙钛矿太阳能电池电极界面使用的三种SAM材料——MeO-4PACz、Me-4PACz和MeO-2PACz——开发了单一材料墨水,以及将两种材料混合的共混墨水。公司已实现最高30千赫兹(kHz)频率下的稳定喷墨。

喷墨涂覆通过将墨水直接沉积到指定区域来成膜。该工艺无需单独掩膜即可施加材料,更便于修改图案并减少材料消耗。Unijet正在评估墨水配方和打印分辨率如何影响膜厚与表面覆盖率,以优化工艺条件。

面向量产的TandemJet 4000正在开发中,目标处理能力为每小时4,000片晶圆。该设备设计将预处理、喷墨打印、干燥、热处理和检测整合到一条生产线中。Unijet计划于2027年2月推出该设备。

此前开发的TandemJet 500中试系统每小时可处理500片晶圆,这意味着量产机型的吞吐量将提升至8倍。Unijet正将产品线从研发设备扩展至中试系统和量产设备。

此外,Unijet还计划在11月于大田举行的WCPEC-9 2026上展示TandemJet 2000演示机型,该机型可每小时处理2,000片晶圆。

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