据环球网5月27日报道，韩国法院于5月25日宣布，三星电子旗下子公司SEMES前员工A某等7人，涉嫌将半导体洗净装备技术泄露给中企，被检方移交法院。

据韩国《世界日报》5月26日的报道，韩国水原地方法院军工产业、产业技术犯罪刑事法庭于25日宣布，以涉嫌违反《防止不正当竞争法》《商业机密保护法》《产业技术保护法》等法律，将三星电子子公司SEMES前员工A某等7人提起拘留起诉。

据悉，A某以研究员身份在SEMES公司任职超10年，其从SEMES公司辞职时，未按照要求交还相关信息，从合作客户代表处盗取设计图纸、零件清单、药业管道信息、操作标准、软件等几乎全部技术。A某团伙盗取的半导体清洗设备是SEMES专利技术制成的主力产品，在芯片制程最初阶段用于清除污物。

                                                                 SEMES半导体清洗设备

                                                                  来源：韩国亚洲经济

该设备可用来清洗包括硫酸在内的高温液体，并将传送机器人的手臂从2只增至4只，大大提高了清洗速度，该设备也被认为是三星尖端半导体芯片技术的关键。2018年3月起至去年12月，他盗取SEMES公司技术后，制成14台相同配置的半导体清洗设备，与相关技术一同出售于中国企业及研究机构，并从中获取710亿韩元（约合人民币3.7亿元）的报酬。

据韩国亚洲经济报道，SEMES公司为研究开发这一技术投资2188亿韩元，技术泄露或将导致该公司每年遭受400亿韩元以上的经济损失。

资料显示，SEMES是三星电子旗下的一家半导体设备供应商，同时也是韩国最大的半导体设备制造商，三星拥有其超90%的股份。目前，其产品主要包括半导体前道工序领域的清洗、Phototrack、蚀刻设备，还有后道工序的Bonder、Probe等设备。

另据韩国KBS电视台报道，从A某等人处获取半导体设备技术的就包括中国“国营半导体研究机构”ICRD，即上海集成电路研发中心有限公司。资料显示，该公司成立于2002年12月16日，为国有控股企业。

清洗是贯穿半导体制造的重要工艺，是提高芯片良率、产品性能的关键环节。根据清洗介质的不同，目前半导体清洗技术主要分为湿法清洗和干法清洗两种。晶圆制造产线上通常以湿法清洗为主，占芯片制造清洗步骤数量的90%以上。

根据Gartner 2021年数据，2020年全球半导体清洗设备市场规模约为33.41亿美元，预计2022年将达43.24亿美元。

目前全球清洗设备市场集中度较高，日本在其中占据主要地位。据华经情报网数据显示，2020年迪恩士DNS在半导体单片清洗设备市场占46%的市场份额，东京电子TEL、SEMES和泛林半导体Lam Research分别占据20%、14%和13%的市场份额。目前，国产清洗设备领域主要包括盛美上海、北方华创、芯源微、至纯科技四家主要厂商，但专注领域各有不同。

据《环球时报》报道，对于此次事件，上海对外经贸大学朝鲜半岛研究中心主任詹德斌表示，这首先是韩国国内的一起法律案件，但时机是发生在拜登访问韩国之后，且韩美联合声明中明确提及“为防止先进技术被用于侵犯国家安全及经济安全，决定在涉及敏感技术的投资审批及出口管制方面加强官方合作”。

在这个节骨眼上，因为该案件的发生，韩国舆论中确实容易形成对半导体等核心技术外流中国的警惕。詹德斌认为，无论此案件主客观上是否有针对中方的意图，未来韩国会越来越强化对其技术向海外转移的监管。而美国总统拜登对韩国的访问，并将第一站放在韩国三星，拉拢韩国在半导体上合作，也会对韩国形成防备中国的一种心理暗示。