据韩媒The Elec 2月20日报道，SK海力士本月在DRAM晶圆生产过程中遭遇一起工艺事故，原因是SK trichem的锆(Zr)基高K材料（也称为前驱体）存在质量问题。受此影响，数台SK海力士相关生产设备暂时停止运转。

 

消息人士称，事件缘由是由供应商SK Trichem提供的锆 (Zr) 高k材料中含有杂质，这导致SK海力士在其DRAM工厂的部分生产设备停止运行。由于晶圆制造的特殊性，因此可能造成一段时间内产线设备和材料上的额外损失。

 

 

SK海力士表示，产线内部立即进行了清洁流程，因此其生产输出没有受到损害。然而，SK海力士表示正在审查并要求SK Trichem承担因设备停机和更换组件而造成的损失。同时，SK海力士也将停止从SK Trichem采购材料，直到问题得到解决。

 

对此，SK Trichem 解释称，一些问题生产线的材料采购已经减少，公司计划从本月底开始提供质量更高的产品。该公司承认表示：“供应给SK海力士的材料纯度存在问题，这导致过程中某些设备的压力增加，导致（设备）停止运行。”该公司补充说，SK Trichem仍在供应用于同一生产线上其他设备的材料。

 

Zr high-k材料是一种前驱体，它以原子级沉积在DRAM电容器的顶部。由于电容器直接决定了DRAM的性能，因此高k材料的质量也至关重要。与此同时，外界预估UP Chemical和M Chemical将暂时代替SK Trichem供应SK海力士所需的高k材料。

 

据悉，SK Trichem是SK集团的材料关联公司，由SK Materials与日本三化学研究所(TCLC)合资成立。2021年，SK Materials的控股事业部被吸收并入SK，成为SK的子公司。SK 集团的股份比例为65%，TCLC的股份比例为35%。