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SK海力士:质量问题,暂时停产!
2023-02-21 18:02:4811


据韩媒The Elec 2月20日报道,SK海力士本月在DRAM晶圆生产过程中遭遇一起工艺事故,原因是SK trichem的锆(Zr)基高K材料(也称为前驱体)存在质量问题。受此影响,数台SK海力士相关生产设备暂时停止运转。

 

消息人士称,事件缘由是由供应商SK Trichem提供的锆 (Zr) 高k材料中含有杂质,这导致SK海力士在其DRAM工厂的部分生产设备停止运行。由于晶圆制造的特殊性,因此可能造成一段时间内产线设备和材料上的额外损失。

 

 

SK海力士表示,产线内部立即进行了清洁流程,因此其生产输出没有受到损害。然而,SK海力士表示正在审查并要求SK Trichem承担因设备停机和更换组件而造成的损失。同时,SK海力士也将停止从SK Trichem采购材料,直到问题得到解决。

 

对此,SK Trichem 解释称,一些问题生产线的材料采购已经减少,公司计划从本月底开始提供质量更高的产品。该公司承认表示:“供应给SK海力士的材料纯度存在问题,这导致过程中某些设备的压力增加,导致(设备)停止运行。”该公司补充说,SK Trichem仍在供应用于同一生产线上其他设备的材料。

 

Zr high-k材料是一种前驱体,它以原子级沉积在DRAM电容器的顶部。由于电容器直接决定了DRAM的性能,因此高k材料的质量也至关重要。与此同时,外界预估UP Chemical和M Chemical将暂时代替SK Trichem供应SK海力士所需的高k材料。

 

据悉,SK Trichem是SK集团的材料关联公司,由SK Materials与日本三化学研究所(TCLC)合资成立。2021年,SK Materials的控股事业部被吸收并入SK,成为SK的子公司。SK 集团的股份比例为65%,TCLC的股份比例为35%。

 

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