华为扶持国产DUV光刻机产业链，中芯国际测试国产设备

据英国《金融时报》报道，华为正在中国半导体设备国产化进程中扮演关键角色。该公司支持国内企业研发先进芯片制造设备的关键部件，以配合北京降低对外国技术依赖的目标。这一布局的一个重要落点是上海设备制造商Yuliangsheng——它参与联合开发了中国首台国产先进深紫外（DUV）光刻机。消息人士称，Yuliangsheng预计在2026年底前生产12台这种光刻机。

按照《金融时报》的说法，中芯国际（SMIC）等中国芯片制造商以及华为自有产线，均在对这台DUV光刻机进行测试。虽然终极目标是面向先进AI芯片，但目前出于完善设备的需要，该机器先在复杂度较低的半导体上进行测试。

最新披露的12台目标高于早期规划。不过，不同报道对生产主体的描述存在差异：路透社7月底报道称，上海国企Aishengna吸收了Yuliangsheng和上海微电子装备（SMEE）的团队，所牵头的计划是2026年生产约5台、2027年生产20台。

Yuliangsheng还得到长期深耕光刻设备市场的SMEE支持，正在研制多款DUV原型机。部分原型仍依赖外国零部件，尤其是投影镜头和光源，中国供应商在这些环节仍落后于海外竞争者。据称，华为正通过投资缩小差距，其旗下投资机构哈勃（Habo）以及华为支持的深圳远致星火基金，均已入股布局这些瓶颈环节的供应商。

投影镜头瓶颈待破

在投影镜头方面，哈勃与深圳远致星火基金均投资了Fujian Zhiqi Photonics——一家于2022年从中国光学材料公司福晶科技（Castech）分拆出来的超精密光学器件制造商。福晶科技在深圳上市，是激光系统用光学晶体的主要生产商，此前曾将ASML和华为列为客户。

不过，进口依赖仍然存在。Yuliangsheng的DUV光刻机据称使用了蔡司投影镜头；蔡司向《金融时报》表示，其光刻光学产品只向ASML出售。消息人士称，这类镜头仍有可能从中国的二手市场获得。

光源本地化持续推进

光源是另一大瓶颈。目前，日本Gigaphoton与ASML子公司Cymer占据市场主导。《金融时报》在报道中点名北京科益虹源（RSLaser Opto-Electronics），称这家由华为哈勃投资的企业是中国领先的DUV光源开发商。

据称，科益虹源已为SMEE的老一代DUV设备提供光源。东方财富网上的一则帖子称，SMEE在SEMICON China 2026上表示，其28纳米浸没式DUV系统正处于客户验证的最后阶段，而该系统采用的高能激光光源正是由科益虹源供应。

商业落地仍是难关

尽管技术攻关有所进展，商业化采用依旧困难。《金融时报》指出，中芯国际等头部代工厂虽已购买并测试Yuliangsheng的DUV光刻机，但目前仍以ASML设备为主要依赖。中国也依然是ASML的重要市场，尽管销售份额在下滑——按出货地点计，2026年第二季度中国占ASML净系统销售额的14%，低于第一季度的19%。