英飞凌首发300毫米SiC功率器件晶圆,采用现有硅产线设备

英飞凌科技(Infineon Technologies AG,FSE: IFX / OTCQX: IFNNY)11月9日宣布,已在其位于奥地利菲拉赫(Villach)的工厂将300毫米碳化硅(silicon carbide,SiC)晶圆加工成可工作的功率器件,成为首家在全尺寸半导体晶圆厂环境中完成这一工艺的企业。该工艺借助现有的硅(Si)生产设备实现。

英飞凌表示,此次产出功能性功率器件,体现了公司向客户提供完整高性能SiC功率半导体产品组合、并保障长期供应的策略。300毫米晶圆的直径更大,单片可产出芯片数量是200毫米晶圆的2.3倍,制造效率和工艺水平均高于200毫米。

“这一技术里程碑进一步巩固了我们在功率系统领域的领先地位。祝贺并感谢我们充满热情的团队,他们为把300毫米SiC从实验室推向制造环境取得了重大进展。”英飞凌首席执行官Jochen Hanebeck表示,“功率半导体的领先意味着不断把技术推向更高水平。从硅、氮化镓到如今的碳化硅300毫米晶圆,我们处于能够扩大半导体制造规模、推动盈利性增长的位置。”

该里程碑显示SiC在300毫米晶圆上未来全面产业化的潜力。英飞凌称,将与客户和合作伙伴密切协作,规划300毫米SiC技术及量产时间,同时继续执行200毫米SiC的制造路线图。

SiC是高效功率转换的关键半导体材料,其材料特性可带来更低的功率损耗、更高的功率密度,并在高电压和高温条件下高效工作,应用包括牵引逆变器、车载充电机、电动汽车充电桩、大规模储能、工业驱动以及不间断电源。在AI数据中心,SiC正进入固态变压器、断路器和电源单元等新角色,英飞凌以范围广泛的**CoolSiC™**产品组合覆盖上述应用。

与此同时,英飞凌在德国德累斯顿(Dresden)工厂也验证了Cold Split技术用于300毫米SiC的可行性。与常规线锯相比,Cold Split从SiC晶锭上分离晶圆时的材料损耗更少、加工时间大幅缩短,同一晶体可切出更多晶圆,资本支出相应更低。

英飞凌目前基于硅、碳化硅和氮化镓三种相关材料制造半导体。2026年10月27日,该公司宣布在菲拉赫投资约11亿欧元,建设面向300毫米晶圆的氮化镓(GaN)功率半导体大规模制造基地。此次SiC进展将这一路径延伸至第二种宽禁带材料。

electronica 2026展出安排

英飞凌将在慕尼黑electronica电子展上首次向公众展示全球首片已加工完成的300毫米SiC晶圆。展会于11月10日至13日举行,英飞凌展台位于C3馆502展位。

关键信息:

  • 加工地点:奥地利菲拉赫工厂,使用现有硅生产设备
  • 单片芯片产出:300毫米晶圆为200毫米晶圆的2.3倍
  • 量产规划:300毫米SiC技术与量产时间将与客户、合作伙伴共同确定,200毫米SiC路线图继续推进
  • 相关进展:德累斯顿工厂完成300毫米SiC的Cold Split技术可行性验证
  • 公开展示:11月10日至13日慕尼黑electronica展会,C3馆502展位
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