住友重机与CEA-Leti更新三年激光退火联合研发计划

住友重机械工业11月10日宣布,其欧洲基地Sumitomo (SHI) Material Solutions Europe(SMS-E)已更新与法国半导体研究机构CEA-Leti的共同开发计划。双方将在未来三年继续开展联合研究,推进面向先进半导体的激光退火技术研发。

SMS-E是住友重机械工业半导体设备业务的欧洲基地之一,与住友重机械材料解决方案并列。该公司与CEA-Leti于2017年签署共同开发计划(Joint Development Program,JDP),此后一直以纳秒激光退火技术为中心开展联合研究。

在合作中,双方利用安装在CEA-Leti洁净室内的SMS-E激光退火设备,推进面向下一代半导体器件的工艺开发与应用研究。

将导入微秒级QA-3000

随着此次JDP更新,SMS-E计划向CEA-Leti引入最新激光退火设备“QA-3000”。该设备支持微秒级激光退火,设想应用于功率半导体、先进逻辑芯片和下一代存储器等领域。

QA-3000可覆盖从材料不熔化到熔化的广泛工艺条件。住友重机械工业表示,该设备有望实现高度材料控制与工艺优化。

瞄准sequential 3D集成应用

双方研究的激光退火技术通过激光瞬间加热半导体材料。纳秒激光退火在堆叠多个晶体管层的sequential 3D集成技术中,被期待用于在抑制对下层器件热影响的同时形成上层。

SMS-E与CEA-Leti今后将继续推进激光退火技术研发,着眼应用于先进逻辑芯片、存储器和功率半导体等。

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